Cad iad na Modhanna Cumhdaithe is féidir le Scannáin Thin Criostail Aonair a Fhás?

Cad é an difríocht idir CVD, PVD, agus trealamh epitaxial?

Catagóir CVD, PVD agus próiseas epitaxial

CVD, PVD,?
CVD: LPCVD, APCVD, SACVD, PECVD, HDPCVD, FCVD, MOCVD, etc.
PVD: Galú léas leictreon, sputtering maighnéadrón, PLD (taisce léasair bíogaigh), etc.

Epitaxy: epitaxy bhíoma mhóilíneach MBE, epitaxy VPE céim gáis, epitaxy LPE céim leachtach, SPE epitaxy céim soladach, etc.

Ina measc, tá CVD, PVD, agus epitaxy cosúil i bprionsabal, agus tá go leor bealaí ann chun iad a rangú, agus is é an méid thuas ná mo mhodh aicmithe.

Meicníocht foirmithe scannán deCVD, PCVDagusEpitaxial?

Mar a léirítear san fhigiúr thuas, ní haon ionadh é gurb iad na trí mhodhanna thuas le haghaidh sil-scannán tanaí ná na cinn thuas:

Modh fáis ciseal-ar-ciseal 2D Sa mhodh sciath seo, déantar fás an scannáin tanaí ciseal de réir ciseal, agus clúdaíonn gach ciseal adamh nó móilíní go hiomlán dromchla an wafer sula dtosaíonn an chéad sraith eile. D'fhéadfadh dromchlaí scannáin an-réidh a bheith mar thoradh ar an modh fáis seo, mar struchtúir sárlaitíse.

Fás oileáin 3D (Volmer-Weber)

Sa mhodh seo, níl fás an scannáin ciseal-ar-ciseal a thuilleadh, ach ina áit sin foirmiú na n-oileán neamhleanúnach i roinnt réimsí áitiúla de dhromchla an wafer, a mhéadú de réir a chéile agus ar deireadh thiar a chlúdaíonn an wafer iomlán. Tá an fórsa idirghníomhaíochta idir an scannán mar thoradh air agus an tsubstráit lag, agus tá fuinneamh saor ó dhromchla an scannáin mór.

Fás modh measctha Sa mhodh fáis seo

Fásfaidh an scannán ciseal le ciseal ar dtús ar feadh tréimhse ama, agus nuair a shroicheann sé tiús áirithe, mar gheall ar an carnadh strus, tosaíonn sé ag cruthú struchtúr oileán-mhaith. Go ginearálta, is iad na modhanna is féidir le scannáin tanaí criostail aonair a fhás ná epitaxy beam mhóilíneach MBE, epitaxy chéim gáis VPE, epitaxy LPE céim leachtach, SPE epitaxy soladach-chéim, MOCVD, PLD (taisce léasair pulsed). Déanann an modh fáis ciseal-ar-ciseal 2D sé níos éasca monacriostail a fhoirmiú, agus is féidir CVD agus PVD a úsáid chun criostail polacriostalach nó éagruthacha a ghiniúint trí choinníollacha próisis a choigeartú.