Cineálacha Eitseála Sa Phróiseas Déantúsaíochta Sliseanna

CineálachaEtching saCcromáinMdéantúsaíochtPrós

Tugann an t-alt seo isteach go hachomair dhá mhodh eitseála sa phróiseas déantúsaíochta sliseanna, is céim thábhachtach go leor é eitseáil (Etch) sa phróiseas déantúsaíochta sliseanna.

Tá eitseáil roinnte go príomha i eitseáil tirim agus eitseáil fliuch.

①Eitseáil tirim

Úsáidtear plasma chun ábhar nach dteastaíonn a bhaint.

② Eitseáil fliuch

Úsáidtear leachtanna creimneach chun ábhair nach dteastaíonn a bhaint.

1 Eitseáil tirim

Modh eitseála tirim:

① Sputtering agus muilleoireacht bhíoma ian

② Eitseáil Plasma

③Eitseáil plasma ardbhrú

④ Eitseáil plasma ard-dlúis (HDP).

⑤ Eitseáil ian Imoibríoch (RIE)

Mar is amhlaidh le heitseáil cheimiceach, tá sé an-roghnach, gan eitseáil ach ábhair leis an gcomhdhéanamh atá ag teastáil; Tá sé an-anisotrópach agus eitseáilte i dtreo amháin ag tosú ón oscailt masc. Tá an mheicníocht a bhaineann leis seo bunaithe ar úsáid cáithníní ardfhuinnimh chun imoibriú ceimiceán le dromchlaí a ghníomhachtú. Mar a léirítear san fhigiúr, gintear iain sa phlasma agus luasghéaraíonn siad i dtreo oscailtí an dromchla agus an masc. Táirgeann an plasma substaintí neodracha an-imoibríocha freisin nach bhfuil luasghéaraithe ag an réimse leictrigh agus a shroicheann an dromchla in aon treo is fearr dá bharr. Nuair a bhíonn an dá ian agus an neodraigh i láthair, ie sa chuid chothrománach den dromchla (m.sh., ag bun an chlais eitseáilte), cuirtear imoibriú an-roghnach i ngníomh agus baintear an spriocábhar.

Tá líneálacha eitse againn mar seo thíos:

0040-79913 Líneáil Chatadóide, Port Seiceála W/sceite, 300mm

0040-79912 Calafort Seiceála Sníomh an tSeomra Líneála, 300mm Emax

0040-34866 Cathode Mag Ring línéar

2 Eitseáil fliuch

Tá raon leathan iarratas ag eitseáil fliuch i bpróisis leathsheoltóra: snasú, glanadh, creimeadh. Próiseas ceimiceach is ea eitseáil fhliuch a bhaineann le hábhar a bhaint go roghnach as sliseog ag baint úsáide as eitseáil leachtach. Is gnách go mbíonn na heitleáin seo comhdhéanta de éagsúlacht ceimiceán, amhail aigéid, bunanna, nó tuaslagóirí, a imoibríonn leis an ábhar chun táirgí intuaslagtha a fhoirmiú ar féidir iad a ní go héasca. Tá an próiseas eitseála á thiomáint ag imoibriú ceimiceach ag an gcomhéadan ábhar-eitse, agus déantar an ráta eitseála a chinneadh ag cinéitic imoibrithe agus tiúchan na speiceas gníomhach sa tuaslagán.

Is iad na buntáistí ná: roghnaíocht mhaith, atrialltacht mhaith, éifeachtacht ard táirgeachta, trealamh simplí agus costas íseal

Is iad na míbhuntáistí ná: ní féidir é a úsáid le haghaidh méideanna beaga gné; Ginfear cuid mhór dramhaíola ceimiceach.