Cad é an Atomization Imoibríochta Foirnéise Laghdú Polysilicon

Cad é anRaicsinAtomization dePolailiconRfoghluimFurnáis

Is é an foirnéis laghdaithe polysilicon an trealamh lárnach chun polysilicon a tháirgeadh, agus tagraíonn atomization imoibriú na foirnéise laghdaithe polysilicon d'imoibriú scoilteadh teirmeach chlorosilane sa foirnéis laghdaithe mar gheall ar an ngníomh teocht ard, a eascraíonn i púdar shilice fíneáil, a foirmíonn ceo sa spás chéim gáis san fhoirnéis, is é sin, an feiniméan atomization mar a thugtar air. Mura ndéantar é a sheiceáil, d'fhéadfadh cáithníní neamhrialta nó idirshraitheanna inmheánacha a bheith mar thoradh ar an atomization seo ar dhromchla slata polaisilicon, rud a dhéanann difear do cháilíocht an táirge.

Tar éis an feiniméan atomization a tharlaíonn, is gnách go mbíonn athruithe paraiméadar ann:

· Ardaíonn teocht an gháis sceite laghdaithe go tapa;

· Titeann an voltas laghdaithe go tapa;

· Laghdaíonn cumhacht an imoibrithe laghdaithe go tapa freisin

· Ardaíonn teocht an uisce fillte uisce foirnéise.

Tá go leor cúiseanna ann le atomization sa foirnéis laghdaithe polysilicon, lena n-áirítear ach gan a bheith teoranta do theocht ard dromchla an tslat polysilicon sa foirnéis laghdaithe, sreabhadh hidrigine neamhleor na n-amhábhar, sreabhadh iomlán amhábhar neamhleor, nó ábhar déchlóiríd sileacain míchuí. I measc na mbeart is féidir a ghlacadh chun atomization a rialú tá laghdú ar theocht dromchla an tslat, an sreabhadh hidrigine a mhéadú, sreabhadh iomlán an stoic chothaithe a mhéadú, nó ábhar dichlorodihydrogen silane a rialú.

Níl ráta sreafa iomlán an ábhair leordhóthanach nó tá an t-ábhar sileacain dichlorodihydrogen míchuí. I measc na mbeart is féidir a ghlacadh chun atomization a rialú tá laghdú ar theocht dromchla an tslat, an sreabhadh hidrigine a mhéadú, sreabhadh iomlán an stoic chothaithe a mhéadú, nó ábhar silane drogen dichlorodihy a rialú.

Ina theannta sin, le doimhniú an taighde ar rialú optamach na foirnéise laghdaithe, fuarthas amach go bhféadfadh an éifeacht a bheith ag an bhfoirnéis laghdaithe tomhaltas cumhachta a laghdú faoi stáit atomization éagsúla. Chun méid áirithe d'oibriú imeall cárta teorann atomization a bhaint amach, rud nach féidir ní hamháin tomhaltas cumhachta a laghdú, ach freisin cáilíocht an táirge a chinntiú. Mar sin féin, mar gheall ar an easpa modhanna braite éifeachtacha le haghaidh céim atomization, tá na straitéisí rialaithe atá ann cheana féin deacair torthaí sásúla a bhaint amach.

Chun an fhadhb seo a réiteach, moltar córas agus modh chun an méid atomization de imoibriú laghdaithe polysilicon a bhrath, lena n-áirítear gléas braite gáis sceite agus rialtóir lárnach. Trí athrú ar ábhar múiche shilice sa ghás sceite a bhrath, déanann an córas monatóireacht dhigiteach ar an méid atomization sa foirnéis i bhfíor-am, agus is féidir leis an oibreoir paraiméadair an foirnéise laghdaithe a choigeartú in am de réir na dtorthaí braite chun rialú is fearr a bhaint amach. .

Ina theannta sin, moltar modh chun atomization a bhrath i bhfoirnéis laghdaithe polysilicon, a thomhaiseann an luach tiúchan deannaigh trí bhrathadóir deannaigh a shuiteáil ar an bpíblíne asraon gáis sceite, agus ríomhtar an raon agus an t-éagsúlacht chun an méid atomization a mheas sa foirnéise, mar sin maidir leis an oibreoir a threorú chun coigeartuithe a dhéanamh. Cuidíonn cur i bhfeidhm na dteicneolaíochtaí seo le feabhas a chur ar chaighdeán rialaithe na foirnéise laghdaithe, an deacracht a bhaineann le hoibriú a laghdú, agus cáilíocht táirgí polysilicon a chinntiú.