Cén Ábhar as a bhfuil an Masc EUV Déanta?

Tá masc EUV frithchaiteach, ach tá ár masc coitianta tarchurtha, cén fáth a bhfuil sé seo ag tarlú?

Cén fáth a bhfuil masc an EUV frithchaiteach?

Is é 13.5 nm tonnfhad an tsolais EUV, agus tá an tonnfhad fíor-ghearr seo á ionsú go láidir nuair a théann sé trí ábhar ar bith, rud a fhágann nach bhfuil aon ábhar trédhearcach oiriúnach chun solas EUV a tharchur go héifeachtach, rud a fhágann nach bhfuil maisc tarchurtha traidisiúnta indéanta i liteagrafaíocht EUV. Struchtúr an masc EUV

Mar a thaispeántar san fhigiúr thuas, glacann masc EUV struchtúr scannáin ilchiseal a úsáideann prionsabal machnaimh Bragg chun solas EUV a léiriú. Féadann sé frithchaiteacht suas le thart ar 70% a bhaint amach, rud a fheabhsaíonn cruinneas agus éifeachtúlacht liteagrafaíocht.
Sciath frith-fhrithchaiteach (ARC) (Cumhdach Frith-Frithchaiteach): Laghdaíonn sé an machnamh ar dhromchla an reticle agus méadóidh sé éifeachtacht ionsú solais. Absorber: An ciseal cambium iarbhír den phhatrún liteagrafaíocht a ionsúnn solas EUV neamhraite. Go ginearálta, is iad na hábhair ciseal ionsúcháin ná Ta, TaN, TaBN agus mar sin de. Ru uasteorannú: Cosnaíonn an struchtúr membrane ilchiseal ó ocsaídiú agus damáiste.

Scáthán ilchiseal Mo/Si (Scáthán Ilchiseal moluibdín/Sileacain): déantar idir 40 agus 50 sraith ailtéarnach sileacain agus moluibdín a thaisceadh ar bharr an tsubstráit LTEM mar chiseal frithchaiteach Bragg chun an frithchaitheamh uasta de EUV ag an tonnfhad 13.5nm.
Ábhar leathnaithe teirmeach íseal (LTEM) (Ábhar leathnaithe teirmeach íseal): Ábhar substráit masc le cobhsaíocht teirmeach ard agus athrú tríthoiseach íosta in aghaidh athruithe teochta ollmhóra.

Bratú seoltach backside (Cumhdach Cúl Seoltach): De ghnáth comhdhéanta de nítríde cróimiam chun méadú statach a laghdú agus chun gabháltas leictreastatach a éascú.